发明名称 | 改善了光学性能和电性能的功能薄膜 | ||
摘要 | 提供的是一种包含一个过渡层的功能薄膜,该过渡层包含一种从铝和硅中选择的第一成分和至少一种从氧和氮中选择的第二成分,该第一成分和第二成分有随该薄膜的厚度渐变的含量梯度。 | ||
申请公布号 | CN1368649A | 申请公布日期 | 2002.09.11 |
申请号 | CN01137910.3 | 申请日期 | 2001.11.05 |
申请人 | 三星SDI株式会社 | 发明人 | 崔天基;都永洛;李准培;朴昌元 |
分类号 | G02B1/11;G02F1/19;C23C14/06 | 主分类号 | G02B1/11 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘元金;王其灏 |
主权项 | 1.一种包含一个过渡层的功能薄膜,该过渡层包含一种从铝和硅中选择的第一成分和至少一种从氧和氮中选择的第二成分,该第一成分和第二成分有随该薄膜的厚度渐变的含量梯度。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |