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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DRYING PHOTORESIST COATINGS
摘要
申请公布号 EP1145284(A3) 申请公布日期 2002.09.11
申请号 EP19990936266 申请日期 1999.05.12
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 LOECHEL, BERND;MACIOSSEK, ANDREAS;BLEIDIESSEL, GERHARD;WILBERS, WILHELMUS
分类号 F26B3/30;F26B25/00;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 F26B3/30
代理机构 代理人
主权项
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