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发明名称 FLAT COIL AND LITHOGRAPHIC METHOD FOR PRODUCING MICROCOMPONENTS
摘要
申请公布号 EP1238311(A1) 申请公布日期 2002.09.11
申请号 EP20000976041 申请日期 2000.11.17
申请人 INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH 发明人 SCHMITZ, FELIX;NIENHAUS, MATTHIAS, DR.;LACHER, MANFRED
分类号 G03F7/40;B81B1/00;B81C1/00;G03F7/00;H01F17/00;H01F41/04;H02K3/26;H02K15/04;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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