发明名称 Positive photoresist composition
摘要
申请公布号 EP0855620(B1) 申请公布日期 2002.09.11
申请号 EP19980101315 申请日期 1998.01.26
申请人 JSR CORPORATION 发明人 OTA, TOSHIYUKI;SANO, KIMIYAKU;OHTA, MASARU;SATO, HOZUMI
分类号 G03F7/004;C08G8/08;G03F7/022;G03F7/023;G03F7/033;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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