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经营范围
发明名称
Positive photoresist composition
摘要
申请公布号
EP0855620(B1)
申请公布日期
2002.09.11
申请号
EP19980101315
申请日期
1998.01.26
申请人
JSR CORPORATION
发明人
OTA, TOSHIYUKI;SANO, KIMIYAKU;OHTA, MASARU;SATO, HOZUMI
分类号
G03F7/004;C08G8/08;G03F7/022;G03F7/023;G03F7/033;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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