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发明名称 Method for treating silane-containing gas
摘要
申请公布号 EP0867440(B1) 申请公布日期 2002.09.11
申请号 EP19980302276 申请日期 1998.03.25
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 HASEGAWA, MASAYUKI;OGIWARA, KAZUO;KOBAYASHI, HIROYUKI;SATOH, YUKINORI;SHIRATA, YOSHIHIRO;FURUYA, MASAAKI
分类号 C07F7/12;B01D53/70;B01D53/72;B01D53/77;C07C7/12;C07F7/20;(IPC1-7):C07F7/12;C07F7/16 主分类号 C07F7/12
代理机构 代理人
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