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发明名称 Transport module
摘要
申请公布号 GB0218144(D0) 申请公布日期 2002.09.11
申请号 GB20020018144 申请日期 1998.07.10
申请人 FLUOROWARE, INC 发明人
分类号 H01L21/673 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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