发明名称 Procédé de gravure précise de semiconducteurs.
摘要
申请公布号 FR96065(E) 申请公布日期 1972.05.19
申请号 FRD96065 申请日期
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/306;H01L21/308 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址