| 摘要 |
<p>L'invention concerne un dispositif à solide permettant de diminuer la constante diélectrique. Ce dispositif à solide comprend un film servant de couche isolante intercalaire ou de film de protection destinée à empêcher tout décollement. L'invention concerne également le procédé de fabrication dudit dispositif. Un dispositif à semi-conducteur comprend un film à base de bore, de carbone et d'azote servant de film isolant intercalaire (5A-5C) ou de film de passivation.</p> |
