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发明名称
WAFER-LEVEL TRANSFER OF MEMBRANES IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要
Techniques for transferring a membrane from one wafer (100) to another wafer (200) to form integrated semiconductor devices.
申请公布号
WO0243118(A3)
申请公布日期
2002.09.06
申请号
WO2001US46847
申请日期
2001.11.02
申请人
CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY;YANG, EUI-HYEOK;WIBERG, DEAN
发明人
YANG, EUI-HYEOK;WIBERG, DEAN
分类号
B81C1/00;H01L21/20;H01L21/762
主分类号
B81C1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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