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经营范围
发明名称
ANNEAL WAFER MANUFACTURING METHOD AND ANNEAL WAFER
摘要
申请公布号
KR20020070338(A)
申请公布日期
2002.09.05
申请号
KR1020027008962
申请日期
2002.07.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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