| 发明名称 |
Deposited film forming system and process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU752173(B2) |
申请公布日期 |
2002.09.05 |
| 申请号 |
AU19990054962 |
申请日期 |
1999.10.15 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HITOMI SANO;MASAHIRO KANAI;ATSUSHI KOIKE;HIROSHI SUGAI |
| 分类号 |
C23C16/30;C23C16/54;H01L21/205;H01L31/20;(IPC1-7):H01L31/20 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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