| 发明名称 |
System and method of multi-dimensional force sensing for scanning probe microscopy |
| 摘要 |
A SYSTEM AND METHOD OF MULTI-DIMENSIONAL FORCE SENSING FOR SCANNING PROBE MICROSCOPY is provided
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| 申请公布号 |
US2002121131(A1) |
申请公布日期 |
2002.09.05 |
| 申请号 |
US20010881650 |
申请日期 |
2001.06.13 |
| 申请人 |
MANCEVSKI VLADIMIR;JURICIC DAVOR;MCCLURE PAUL F. |
发明人 |
MANCEVSKI VLADIMIR;JURICIC DAVOR;MCCLURE PAUL F. |
| 分类号 |
G01B21/30;G01Q30/00;G01Q60/24;G01Q60/26;G01Q60/38;G01Q60/50;G01Q70/08;G01Q70/12;(IPC1-7):G01B5/28 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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