发明名称 Sonde für Atomkraftmikroskop, Verfahren zur Herstellung der Sonde und Atomkraftmikroskop
摘要
申请公布号 DE69714320(D1) 申请公布日期 2002.09.05
申请号 DE1997614320 申请日期 1997.03.06
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC., CHIBA 发明人 MURAMATSU, HIROSHI;SHIMIZU, NOBUHIRO
分类号 G01B11/30;B44C1/22;G01B5/28;G01B7/34;G01B21/30;G01L1/00;G01L1/16;G01N37/00;G01Q20/04;G01Q60/24;G01Q60/38;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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