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发明名称 Lithographisches System und Verfahren mit einem vergrössertem Maskenbild
摘要
申请公布号 DE69622640(D1) 申请公布日期 2002.09.05
申请号 DE19966022640 申请日期 1996.05.09
申请人 GOODRICH CORP., CHARLOTTE 发明人 MCKINLEY, WILLIAM G;TATIAN, BERGE;PERRON, GERARD M
分类号 G03F7/20;H01J9/02;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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