Elektronenstrahlresist,申请号DE1998606873-传众专利搜索

发明名称	Elektronenstrahlresist
摘要
申请公布号	DE69806873(D1)	申请公布日期	2002.09.05
申请号	DE1998606873	申请日期	1998.09.17
申请人	NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY, TOKIO/TOKYO;THE UNIVERSITY OF BIRMINGHAM, EDGBASTON	发明人	KANAYAMA, TOSHIHIKO;TADA, TETSUYA;PALMER, RICHARD EDWARD;ROBINSON, ALEXANDER PHILLIP GRAHAM
分类号	C07C69/76;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038;G03F7/20;G03F7/027	主分类号	C07C69/76
代理机构		代理人
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