| 发明名称 |
Template for room temperature, low pressure micro- and nano-imprint lithography |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2001297642(A1) |
申请公布日期 |
2002.09.04 |
| 申请号 |
AU20010297642 |
申请日期 |
2001.10.12 |
| 申请人 |
BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM |
发明人 |
MATTHEW COLBURN;C. GRANT WILLSON;JOHN EKERDT;BYUNG JIN CHOI;S. V. SREENIVASAN;TODD BAILEY |
| 分类号 |
H01L21/027;B29C35/08;B29C37/00;G03F7/00;G03F9/00;(IPC1-7):G03F7/00;G03F1/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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