发明名称 VARIABLE LOAD SWITCHABLE IMPEDANCE MATCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1236275(A1) 申请公布日期 2002.09.04
申请号 EP20000992571 申请日期 2000.11.30
申请人 ADVANCED ENERGY'S VOORHEES OPERATIONS 发明人 MAVRETIC, ANTON;LOZIC, TOMISLAV
分类号 H01L21/3065;H03H7/40;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H03H7/38 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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