光学调制器及其制造和驱动方法

摘要

本发明的衍射光学调制器包括：其一部分起第一电极作用的平板；在该平板上形成的隔离层；以及由许多其一部分起第二电极作用的桁条构成的光栅，桁条的两端支撑在该隔离层上。在衍射光学调制器中，通过调节加在第一和第二电极之间的电压，桁条和平板间的距离将发生变化，从而控制其衍射效率。在平板和许多桁条之间进一步提供有绝缘层。

主权项

1.一种衍射光学调制器，包括：具有一部分起第一电极作用的平板；形成在该平板上的隔离层；以及由许多其一部分起第二电极作用的桁条构成的光栅，桁条的两端支撑在该隔离层上；其中，通过调节加在第一电极和第二电极之间的电压，使桁条和平板之间的距离发生变化，从而控制衍射效率；其中，在该平板和许多桁条间进一步提供有绝缘层；以及其中，所述许多桁条中的每一桁条的厚度和垂直可变动距离都取决于角度θt，该θt为相对于一个平面测得的光的入射角，所述平面为垂直于所述许多桁条的顶表面且与纵向范围的许多桁条平行的一个平面。