发明名称 Method for adjusting a lamp with respect to the illuminating beam of a microscope and microscope adapted to this method
摘要 Die Erfmdung betrifft ein Verfahren zur automatischen Lampenjustierung bei einem Mikroskop ohne Strahlhomogenisierer im Beleuchtungsstrahlengang und ein für die Anwendung des Verfahrens ausgerüstetes Mikroskop. Gemäß der Erfindung wird die Lichtleistung im Beleuchtungsstrahlengang hinter der Pupillenebene des Mikroskopobjektivs oder hinter der Pupillenebene des Beleuchtungsstrahlenganges mit einem Detektor integral gemessen und die Lampe relativ zum Beleuchtungsstrahlengang so justiert, daß die mit dem Detektor detektierte Lichtleistung maximal ist. Bei einem Mikroskop, das zu einer automatisierten Lampenjustierung beispielsweise nach einem Lampenwechsel gernäß dem erfindungsgemäßen Verfahren geeignet ist, sind zur Justierung der Lampe motorische Antriebe vorgesehen, die von einem Auswerte- und Steuerrechner nacheinander so lange angesteuert werden, bis mit einem Detektor maximale Lichtleistung detektiert wird. <IMAGE>
申请公布号 EP1237029(A2) 申请公布日期 2002.09.04
申请号 EP20020003621 申请日期 2002.02.16
申请人 CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 发明人 OTT, PETER, DR.
分类号 G02B21/06;G02B21/08;(IPC1-7):G02B21/08 主分类号 G02B21/06
代理机构 代理人
主权项
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