发明名称 Polymer and a forming method of a micro pattern using the same
摘要
申请公布号 GB2336845(B) 申请公布日期 2002.09.04
申请号 GB19990009916 申请日期 1999.04.30
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 JAE-CHANG * JUNG;MYOUNG SOO * KIM;HYUNG GI * KIM;CHI HYEONG * ROH;GEUN SU * LEE;MIN HO * JUNG;CHEOL KYU * BOK;KI HO * BAIK
分类号 C08F8/42;C08F222/06;C08F232/04;C08F232/08;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/38;(IPC1-7):C08F222/06 主分类号 C08F8/42
代理机构 代理人
主权项
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