Polymer and a forming method of a micro pattern using the same,申请号GB19990009920-传众专利搜索

发明名称	Polymer and a forming method of a micro pattern using the same
摘要
申请公布号	GB2336846(B)	申请公布日期	2002.09.04
申请号	GB19990009920	申请日期	1999.04.30
申请人	* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD.	发明人	JAE-CHANG * JUNG;MYOUNG SOO * KIM;HYUNG GI * KIM;CHI HYEONG * ROH;GEUN SU * LEE;MIN HO * JUNG;CHEOL KYU * BOK;KI HO * BAIK
分类号	H01L21/027;C08F222/40;C08F232/04;C08F232/08;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/38;(IPC1-7):C08F222/40	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利