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发明名称
Low resistivity titanium silicide structures
摘要
申请公布号
US6445045(B1)
申请公布日期
2002.09.03
申请号
US09/906464
申请日期
2001.07.16
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
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