发明名称
摘要
申请公布号 JP3320495(B2) 申请公布日期 2002.09.03
申请号 JP19930117573 申请日期 1993.04.22
申请人 发明人
分类号 H01L27/146;(IPC1-7):H01L27/146 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
地址