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发明名称
摘要
申请公布号 JP2002528674(A) 申请公布日期 2002.09.03
申请号 JP20000578558 申请日期 1999.10.12
申请人 发明人
分类号 F02M51/00;F02D41/20;F02M51/06;H01L41/04;H01L41/083;(IPC1-7):F02M51/00 主分类号 F02M51/00
代理机构 代理人
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