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发明名称
摘要
申请公布号 JP3320473(B2) 申请公布日期 2002.09.03
申请号 JP19930006151 申请日期 1993.01.18
申请人 发明人
分类号 H01L29/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/08
代理机构 代理人
主权项
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