| 发明名称 |
IMPROVEMENTS IN OR RELATING TO APPARATUS FOR USE IN THE DIFFUSION OF A DOPING SUBSTANCE INTO A BODY OF SEMICONDUCTOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1282363(A) |
申请公布日期 |
1972.07.19 |
| 申请号 |
GB19700031367 |
申请日期 |
1970.06.29 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C30B31/10;C30B31/12;H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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