| 主权项 |
1.一种用于制造一预定尺寸的微小金属球之微小金属球制造方法,其中藉由在测量之一预定容积的计量器中注射一融化金属而形成一微小金属球,且从计量器排放所测量的融化金属进行固化。2.如申请专利范围第1项之微小金属球之制造方法,其中自该计量器排放的融化金属系冷却至小于融点之一温度,并在该冷却程序中固化成一球。3.一种用于制造一预定尺寸的微小金属球之微小金属球制造方法,包括一加热且融化一金属形成一金属球、且将该融化金属注入一计量器之步骤,一磨擦该注入该预定测量容积之计量器中的融化金属而取出之步骤,及一从该计量器排放已测量的融化金属、并将该融化金属冷却至小于融点的温度以进行固化之步骤。4.如申请专利范围第3项之微小金属球之制造方法,其中以该计量器的旋转或滑动作用进行测量之预定容积的磨擦而切割注入该计量器的融化金属。5.如申请专利范围第1项之微小金属球之制造方法,其中在该计量器中之融化金属系以小于融点的温度在一流体中排放。6.如申请专利范围第5项之微小金属球之制造方法,其中该流体系为一油或一惰性高分子液体或一惰性高分子蒸汽或一惰性气体。7.如申请专利范围第1项之微小金属球之制造方法,其中当该融化金属注入该计量器中时,该融化金属受到加压及充注。8.一种用于制造一预定尺寸的微小金属球之微小金属球制造装置,包含一加热装置,用于加热且融化一金属形成一金属球,一测量装置,用于将所注入的融化金属测量为一预定容积,及一冷却装置,用于将自该计量器排出的融化金属冷却至一小于融点之温度。9.如申请专利范围第8项之微小金属球之制造装置,其中该测量装置具有一预定容积的计量器,该融化金属注入其中,且其构造使得藉由该计量器的滑动接触而以预定容积来磨擦切割该融化金属。10.如申请专利范围第8项之微小金属球之制造装置,其中该冷却装置系为一油或一惰性高分子液体或一惰性高分子蒸汽或一惰性气体制成之一流体槽。11.一种用于制造一预定尺寸的微小金属球之微小金属球制造方法,其中系由自一开口部排放一融化金属,并从该开口部排放的融化金属区分成各预定容积,而形成一微小金属球。12.如申请专利范围第11项之微小金属球之制造方法,其中该融化金属系由该融化金属的本身重量而自该开口部排放。13.如申请专利范围第11项之微小金属球之制造方法,其中该融化金属系由对该融化金属施加一压力而自该开口部排放。14.如申请专利范围第11项之微小金属球之制造方法,其中该融化金属冷却至小于融点之温度,并在冷却程序中固化成一球。15.如申请专利范围第11项之微小金属球之制造方法,其中该融化金属系测量成为一预定量,接着该预定量的融化金属自该开口部排放。16.一种用于制造一预定尺寸的微小金属球之微小金属球制造方法,具有一加热且融化一金属形成一金属球,且自该开口部排放该融化金属之步骤,一将自该开口部排放的融化金属分成各预定容积之步骤,及一将该冷却中的融化金属分至小于融点之温度以进行固化的步骤。17.如申请专利范围第16项之微小金属球之制造方法,其中该融化金属系由该融化金属的本身重量而自该开口部排放。18.如申请专利范围第16项之微小金属球之制造方法,其中该融化金属系由对该融化金属施加一压力而自该开口部排放。19.如申请专利范围第11项之微小金属球之制造方法,其中该融化金属在一流体中以小于融点之温度排放。20.如申请专利范围第19项之微小金属球之制造方法,其中该流体为一油或一惰性气体。21.一种用于制造一预定尺寸的微小金属球之微小金属球制造装置,包含一加热装置,用于加热且融化一金属形成一金属球,一用以从一预定开口部排放该融化金属之装置,一区分装置,用以区分已通过该开口部的融化金属,及一冷却装置,用于将该区分装置所分的融化金属冷却至小于融点之一温度。22.如申请专利范围第21项之微小金属球之制造装置,其中该冷却装置系为一油或一惰性高分子液体或一惰性高分子蒸汽或一惰性气体制成之一流体槽。23.如申请专利范围第21项之微小金属球之制造装置,其中该融化金属系由该融化金属的本身重量而自该开口部排放。24.如申请专利范围第21项之微小金属球之制造装置,其中该融化金属系对该融化金属施加一压力而自该开口部排放。25.一种用于制造一预定尺寸的微小金属球之微小金属球之制造方法,包括一加热且融化一金属形成一金属球,且加压而将融化金属注入一测量装置中之步骤,一藉由磨擦已注入该测量装置中的融化金属而切割预定测量容积之步骤,以及一以流体压力自该测量装置排放该以测量的融化金属、并将该融化金属冷却至小于融点之温度以进行固化的步骤。26.如申请专利范围第25项之微小金属球之制造方法,其中当注入该融化金属时,系由测量装置之一侧以一进行加压并供应一高压,且其另一相对侧设为一低压。27.如申请专利范围第25项之微小金属球之制造方法,其中藉由该测量装置作测量的旋转作用之预定容积,磨擦而切割该融化金属。28.如申请专利范围第25项之微小金属球之制造方法,其中在该测量装置中之融化金属系由小于融点之温度在一流体中排放并冷却,且于冷却程序中固化成一球。29.一种用于制造一预定尺寸的微小金属球之微小金属球制造装置,包含一加热装置,用于加热并融化一金属形成一金属球,一金属供应装置,用以加压并供应该加热装置所融的融化金属,一测量装置,受支撑而可相对该金属供应装置作旋转,以其旋转作用将该射出的融化金属测量为一预定容积,及一冷却装置,用以将该测量装置排放之该融化金属冷却至一小于融点之温度。30.如申请专利范围第29项之微小金属球之制造装置,其中该测量装置包含具有供融化金属注入的一通孔之一圆柱型旋转筒,且由相对于该金属供应装置之滑动旋转作用来测量该融化金属。31.如申请专利范围第30项之微小金属球之制造装置,其中该金属供应装置具有配置于该测量装置外部及内部之外与内区块,且相对于其间所滑动并旋转的测量装置,从外区块侧将融化金属加压并供应至通孔。32.如申请专利范围第29项之微小金属球之制造装置,其中该金属供应装置在该外区块中设有一注射通道,且该内区块中与该注射通道相对设有一储存部。33.如申请专利范围第31项之微小金属球之制造装置,其中该内区块具有一气体室,以从该测量装置排放注入在通孔中之融化金属。34.一种在一垂直配置的油容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造装置,以在一油中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,其中在该测量单元下部中具有一或多冷却装置,且冷却该油容器的一下部。35.如申请专利范围第34项之微小金属球之制造装置,其中该冷却装置系为在该测量单元的下部中沿该油容器卷绕之一冷却管或一冷却套。36.一种在一垂直配置的油容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造方法,以在一油中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,其中一或多个区域在该油容器下部中受到冷却,且在各区域中的油设定且保持一预定温度。37.如申请专利范围第36项之微小金属球之制造方法,其中该油容器中之油系由该测量单元下部中卷在该油容器上之一冷却管或一冷却套所冷却。38.一种在一垂直配置的油容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造装置,以在一油中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,具有一或多个移动流调节装置,以在该测量单元下部中实际调节该油在油容器中之一对流。39.如申请专利范围第38项之微小金属球之制造装置,其中该移动流调节装置系为自该油容器的一内壁突设之一突起件。40.一种在一垂直配置的油容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造方法,以在一油中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,其中在该油容器中的油的对流系在该测量单元下部中的一或多部份进行实际调节,且所调节的各区域中之油设定且保持在一预定温度。41.一种在一垂直配置的油容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造装置,以在一油中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,具有一散布装置,用以在该测量单元下部中散布融化金属。42.如申请专利范围第41项之微小金属球之制造装置,其中作为该散布装置,包括一钟状构件,其构造能够振荡且旋转。43.如申请专利范围第41项之微小金属球之制造装置,其中作为该散布装置,包括一螺旋搅拌器。44.如申请专利范围第41项之微小金属球之制造装置,其中作为该散布装置,包括一个超音波振荡器。45.一种在一垂直配置的油容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造方法,以在一油中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,其中在该测量单元中,自测量单元排放的融化金属进行散布。46.一种在一垂直配置的油容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造装置,以在一油中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,包含一融化金属供应装置,用以将移除内含物的一融化金属供至该测量单元。47.如申请专利范围第46项之微小金属球之制造装置,其中该融化金属供应装置的构造系将一惰性气体吹出到一壶中之该融化金属,并由惰性气体来捕捉且移除该融化金属中之内含物。48.如申请专利范围第47项之微小金属球之制造装置,其中该融化金属供应装置进一步包含一滤器。49.一种在一垂直配置的油容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造装置,以在置于容器中的冷却介质中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,其中该冷却介质包含一惰性高分子液体、一惰性高分子蒸汽及惰性气体。50.如申请专利范围第49项之微小金属球之制造装置,其中该冷却介质包含一氟型高分子液体,及一惰性氟型高分子蒸汽。51.如申请专利范围第49项之微小金属球之制造装置,其中该冷却介质的比重为1.2或更大。52.一种在一垂直配置的油容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造装置,以在一置于该容器的一冷却介质中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,其中该冷却介质包含一油、及置于该油的下部中之一惰性高分子液体。53.如申请专利范围第52项之微小金属球之制造装置,其中该冷却介质包含一惰性氟型高分子液体。54.如申请专利范围第52项之微小金属球之制造装置,其中该冷却介质的比重为1.2或更大。55.如申请专利范围第52项之微小金属球之制造装置,其中其包括在该惰性高分子液体中之醇。56.一种在一垂直配置的容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造方法,其中置放一冷却介质,以在一置于该容器的一冷却介质中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,其中采用一惰性高分子液体、一惰性高分子蒸汽、及一惰性气体作为该冷却介质,并由该冷却介质来冷却该融化金属进行固化。57.如申请专利范围第56项之微小金属球之制造方法,其中利用一惰性氟型高分子液体作为该惰性高分子液体以进行冷却。58.如申请专利范围第56项之微小金属球之制造方法,其中利用一包含该惰性高分子液体之一液体作为该冷却介质,及在该油进行冷却之后,由该惰性高分子液体、一惰性高分子蒸汽及一惰性气体进行冷却,以固化该融化金属。59.一种在一垂直配置的容器上部中具有一测量单元的微小金属球之制造装置,以在一置于该容器的一冷却介质中由此测量单元排放的一融化金属固化形成一微小金属球,其中该冷却介质的黏度系在该融化金属融化之200℃温度时保持2至20cSt,及藉由该冷却介质的黏度,使该冷却介质中之该融化金属的掉落速度减少。60.如申请专利范围第59项之微小金属球之制造装置,其中该冷却介质为一油,系为将一黏度改良剂添加至一油之一混合物液体,或将一高黏度液体添加至一油之一混合物液体。61.一种微小金属球之制造方法,其中在一垂直配置并置有一冷却介质的容器中排放一所测量的融化金属,且在该冷却介质中由该融化金属固化形成一微小金属球,其中该冷却介质的黏度系在该融化金属融化之200℃温度时保持2至20cSt,及藉由该冷却介质的黏度,使该冷却介质中之该融化金属的掉落速度减少。62.如申请专利范围第61项之微小金属球之制造方法,其中一油,将一黏度改良剂添加至一油之一混合物液体、或将一高黏度液体添加至一油之一混合物液体系作为该冷却装置。图式简单说明:第1图显示根据本发明第一实施例之微小金属球的制造装置的示意构造范例之剖视图;第2图为根据本发明第一实施例之微小金属球的制造装置的平面图;第3图显示根据本发明第一实施例之计量器的示意构造范例之剖视图;第4图显示根据本发明第一实施例之微小金属球的制造装置的修改之示意构造范例之剖视图;第5图显示根据本发明第一实施例之微小金属球的制造装置的另一修改的主要部份之剖视图;第6图显示根据本发明第二实施例之微小金属球的制造装置的示意构造范例之剖视图;第7图显示根据本发明第二实施例之微小金属球的制造装置的上区块之平面图;第8图显示根据本发明第二实施例之微小金属球的制造装置的一静态板之平面图;第9图为根据本发明第二实施例之微小金属球的制造装置的一旋转板之平面图;第10图为根据本发明第二实施例之微小金属球的制造装置的一主板之示意剖视图;第11A至11C图显示根据本发明第二实施例之微小金属球的制造步骤之示意剖视图(依照步骤之顺序);第12图显示根据本发明第二实施例的一修改之微小金属球的制造装置的示意构造范例之剖视图;第13图显示根据本发明第二实施例之微小金属球的制造装置的第二旋转板之平面图;第14A至14D图为根据本发明第二实施例之一修改的微小金属球的制造步骤之示意剖视图(依照步骤之顺序);第15图显示根据本发明第二实施例的另一修改之微小金属球的制造装置的示意构造范例之剖视图;第16图显示根据本发明第二实施例的另一修改之微小金属球的制造装置的主要部份之剖视图;第17图显示根据本发明第三实施例的一微小金属球的制造装置的示意整体构造范例之剖视图;第18图显示根据本发明第三实施例之微小金属球的制造装置的主要部份之立体图;第19图沿第17图的线III-III'所取之剖视图,显示根据本发明第三实施例之微小金属球的制造装置的一主要部份之构造范例;第20图显示根据本发明第三实施例之转筒之部份剖视图;第21图显示根据本发明第四实施例的一微小金属球的制造装置的示意构造图;第22图显示根据本发明第四实施例之一修改的微小金属球的制造装置的示意构造的图;第23A至23C图典型显示根据本发明第四实施例之其他修改的微小金属球的制造装置的示意构造的图;第24图典型显示根据本发明第五实施例之微小金属球的制造装置的示意构造的图;第25图典型显示根据本发明第六实施例之微小金属球的制造装置的示意构造的图;第26图典型显示根据本发明第六实施例之微小金属球的制造装置的示意构造图;第27图典型显示根据本发明第七实施例之微小金属球的制造装置的示意构造的图;第28图典型显示第七实施例中之油的特征;第29图典型显示作为一比较性范例之普通的油之特征;第30A及30B图典型显示第七实施例中之微小金属球的球型;第31图典型显示根据第八实施例之半导体装置的构造;及第32图典型显示根据第八实施例之半导体装置的制造方法中之配置微小金属球之方法。 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