| 主权项 |
1.一种半导体机台之真空过滤器,其系包括有:一滤网;两扩散器,该扩散器系为具有一第一端面及一第二端面之中空锥柱结构,且该第一端面之截面积大于该第二端面之截面积,该扩散器之第一端面与该滤网相连接;两滤嘴,其系分别连接于各该扩散器之第二端面,可提供与外界管线之连接;以及一外管,其系具有一容置空间,可提供容置上述之滤网、两扩散器与两滤嘴。2.如申请专利范围第1项所述之半导体机台之真空过滤器,其中该真空过滤器更可包括一支架,可提供支撑该两扩散器与该两滤嘴。3.如申请专利范围第2项所述之半导体机台之真空过滤器,其中该支架系可为塑胶材料。4.如申请专利范围第1项所述之半导体机台之真空过滤器,其中该两扩散器系相互对应,设置于该滤网两侧。5.如申请专利范围第1项所述之半导体机台之真空过滤器,其中该两滤嘴系与该外管密合。6.如申请专利范围第1项所述之半导体机台之真空过滤器,其中该两滤嘴系可为金属滤嘴。7.如申请专利范围第1项所述之半导体机台之真空过滤器,其中该外管系可为热塑性塑胶(PVC)。图式简单说明:图一 为习用半导体机台之真空产生器操作示意图。图二 为本创作半导体机台之真空过滤器之使用操作示意图。图三 为本创作半导体机台之真空过滤器较佳实施例示意图。图四 为本创作半导体机台之真空过滤器之较佳制作实施步骤流程图。 |
