| 摘要 |
<p>강유전체집적회로의 보호층(130, 135, 160)은 제조공정중에 수소저감에 대한 강유전체산화물재료를 보호하기 위해 소량의 산소를 함유한다. 전형적으로는, 상기 보호층(130, 135)은 강유전체산화물재료(124)의 박막을 덮도록 형성된 수소확산배리어층이다. 하나의 방법에 있어서, 소량의 산소는 수소확산배리어층(130, 135) 또는 금속배선층(160)의 퇴적중에 스퍼터분위기속에 내포시킨다. 산소는 강유전체산화물재료를 향한 수소의 확산을 저해하는 산화물을 형성한다. 산소는, 보호층의 내부의 산소농도가 0이고, 해당 층의 표면근방의 산소농도가 약 2중량%가 되도록 산소농도기울기를 형성한다.</p> |
