METHOD FOR PRODUCING AN EVAPORATION SOURCE

摘要

Изобретението се отнася до метод за производство на изпарител за физично отлагане на газове. Изпарителят се състои от главен блок, както и от един или повече допълнителни компонента, има и опорна пластина, свързана с главния блок и изградена от материал с по-добра топлинна проводимост от него. Пластината е направена от прахообразен изходен материал, който се пресова заедно с компонентите на разпрашващия главен блок, след което се образуват малкипрахообразни частици помежду им, от които впоследствие се формира опорната пластина.