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发明名称
Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号
DE4325706(C2)
申请公布日期
2002.08.29
申请号
DE19934325706
申请日期
1993.07.30
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI
发明人
MATSUO, MIE;OKANO, HARUO;HAYASAKA, NOBUO;SUGURO, KYOICHI;MIYAJIMA, HIDESHI;WADA, JUN-ICHI
分类号
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/528;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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