发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE4325706(C2) 申请公布日期 2002.08.29
申请号 DE19934325706 申请日期 1993.07.30
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 MATSUO, MIE;OKANO, HARUO;HAYASAKA, NOBUO;SUGURO, KYOICHI;MIYAJIMA, HIDESHI;WADA, JUN-ICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/528;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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