| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein akustisches Oberflächenwellenbauelement, bei dem metallische Streifenstrukturen mit einem piezoelektrischen Material mechanisch gekoppelt sind. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, derartige Oberflächenwellenbauelemente, bei denen die metallischen Streifenstrukturen aus Cu bestehen, so auszubilden, dass auch bei einer hohen Belastung der Bauelemente die Akustomigration an den Streifenstrukturen mit möglichst einfach realisierbaren technischen Maßnahmen merklich verringert oder völlig vermieden werden kann. Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, dass die metallischen Streifenstrukturen ein polykristallines und/oder nanokristallines Gefüge aufweisen oder/und im amorphen Zustand vorliegen und aus einem Cu-Basiswerkstoff mit einer Beimengung von 0 Atom-% bis maximal 10 Atom-% eines oder mehrerer anderer metallischer Elemente, einer Legierung und/oder einer Verbindung bestehen. Außerdem sind die Streifenstrukturen erfindungsgemäß mit einer oder mehreren Diffusionsbarriereschichten beschichtet oder umgeben. Die erfindungsgemäßen Bauelemente sind beispielsweise als Filter, akustooptische Modulatoren, Aktoren, Convolver oder Sensoren anwendbar.</p> |
