| 摘要 |
<p>Die Erfindung schafft Elektrodenanordnung zur Ladungsspeicherung mit einer äußeren Grabenelektrode (202; 406), die entlang der Wand eines in einem Substrat (401) vorgesehenen Grabens ausgebildet ist und im Graben beiderseitig von einem ersten und zweiten Dielektrikum (104; 405, 409) elektrisch isoliert ist; einer inneren Grabenelektrode (201; 410), die im Graben isoliert vom zweiten Dielektrikum (104; 409) als Gegenelektrode zur äußeren Grabenelektrode (201; 406) dient; und einer Substratelektrode (201; 403), die außerhalb des Grabens isoliert vom ersten Dielektrikum (104; 405) als Gegenelektrode zur äußeren Grabenelektrode (202; 406) dient und die im oberen Grabenbereich mit der inneren Grabenelektrode (201; 410) verbunden ist.</p> |
