| 摘要 |
<p>Es wird ein Drehratensensor mit einem ersten und einem zweiten Coriolis-Elemente (100, 200) vorgeschlagen, die nebeneinander über eine Oberfläche (1) eines Substrats angeordnet sind. Die Coriolis-Elemente (100, 200) werden zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse angeregt. Durch eine Coriolis-Kraft werden die Coriolis-Elemente (100, 200) in einer zweiten Achse, die senkrecht zu der ersten Achse ist, ausgelenkt. Das erste und zweite Coriolis-Element (100,200) sind durch eine Feder (52) gekoppelt, die in der ersten und in der zweiten Achse weich ausgebildet ist. Es werden so die Frequenzen der Schwingungen in den beiden Achse für die gleich- und gegenphasige Schwingung unterschiedlich ausgestaltet.</p> |
