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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR GEZIELTEN TEILCHENMANIPULIERUNG UND -DEPOSITION
摘要
申请公布号 DE59902121(D1) 申请公布日期 2002.08.29
申请号 DE19995002121 申请日期 1999.04.01
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.;KAYSER-THREDE GMBH 发明人 MORFILL, GREGOR;THOMAS, HUBERTUS;STUFFLER, TIMO;KONOPKA,UWE
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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