| 摘要 |
Die Erfindung offenbart ein Scanmikroskop zum optischen Messen eines Probenpunktes einer Probe (25) mit hoher Ortsauflösung mit einer Lichtquelle (1) zum Aussenden eines zum Anregen eines Energiezustandes der Probe (25) geeigneten Anregungslichtstrahls (5), einem Detektor (41, 71, 73) zum Nachweis des Emissionslichts und einen von der Lichtquelle kommenden Stimulationslichtstrahl (9) zum Erzeugen stimulierter Emission der von dem Anregungslichtstrahl (5) angeregten Probe (25) in dem Probenpunkt, wobei der Anregungslichtstrahl (5) und der Stimulationslichtstrahl (9) derart angeordnet sind, daß sich ihre Intensitätsverteilungen im Fokalbereich teilweise decken, daß dadurch gekennzeichnet, dass den Stimulationslichtstrahl (9) formende optische Elemente zu mindestens einem Modul (27, 43, 63) zusammengefaßt sind, das im Strahlengang des Scanmikroskops positionierbar ist. |
