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发明名称 Hochauflösungs-Rasterelektronenspektroskopie mit Bilderzeugung
摘要
申请公布号 DE69526688(T2) 申请公布日期 2002.08.29
申请号 DE19956026688T 申请日期 1995.02.02
申请人 PHYSICAL ELECTRONICS, INC. 发明人 LARSON, PAUL E.;PALMBERG, PAUL W.
分类号 G01N23/225;G01N23/227;G01Q30/02;G01Q30/06;G21K1/06;H01J37/06;H01J37/256;H01J37/285;H01J49/44;H01J49/48;(IPC1-7):H01J37/256;H01J49/06 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
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