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发明名称 Apparatus and method for generating indium ion beam
摘要
申请公布号 GB2372510(A) 申请公布日期 2002.08.28
申请号 GB20010027052 申请日期 2001.11.09
申请人 * NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKATOSHI * YAMASHITA
分类号 C23C14/32;C22B4/00;C22B4/08;C22B58/00;C23C14/22;C23C14/24;H01J27/02;H01J37/08;(IPC1-7):C23C14/14;C23C14/48;H01J27/08 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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