| 发明名称 |
Laser scanning wafer inspection using nonlinear optical phenomena |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002251930(A1) |
申请公布日期 |
2002.08.28 |
| 申请号 |
AU20020251930 |
申请日期 |
2002.02.13 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
SILVIU REINHORN;GILAD ALMOGY;DANIEL I. SOME |
| 分类号 |
G01N21/956;G01N21/64;G01N21/65;G01N21/95;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/95 |
主分类号 |
G01N21/956 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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