Aqueous dispersion, process for its production and use thereof

摘要

Wässerige Dispersion, die ein Silizium-Aluminium-Mischoxid-Pulver mit Si-O-Al-Bindungen und 0,1 bis 99,9Gew.-% Al2O3 enthält und eine definierte Struktur aus amorphen Siliziumdioxidbereichen und kristallinen Aluminiumoxidbereichen aufweist. Sie kann hergestellt werden, indem man die zu dispergierenden Teilchen bei hohem Druck über eine Düse entspannt und miteinander oder gegen Wandbereiche der Vorrichtung kollidieren läßt. Sie kann zum chemisch-mechanischen Polieren von Halbleitersubstraten eingesetzt werden.