发明名称 METHOD FOR COLLECTIVELY PRODUCING MICRORELIEFS, AND IN PARTICULAR MICROPRISMS, BY MICROMACHINING, AND TOOLS FOR IMPLEMENTING SAID METHOD
摘要
申请公布号 EP1058857(B1) 申请公布日期 2002.08.28
申请号 EP19990904936 申请日期 1999.02.23
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 RABAROT, MARC;MARTY, VINCENT
分类号 G02B5/04;H01S5/02;(IPC1-7):G02B5/04 主分类号 G02B5/04
代理机构 代理人
主权项
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