发明名称 |
METHOD FOR COLLECTIVELY PRODUCING MICRORELIEFS, AND IN PARTICULAR MICROPRISMS, BY MICROMACHINING, AND TOOLS FOR IMPLEMENTING SAID METHOD |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1058857(B1) |
申请公布日期 |
2002.08.28 |
申请号 |
EP19990904936 |
申请日期 |
1999.02.23 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
RABAROT, MARC;MARTY, VINCENT |
分类号 |
G02B5/04;H01S5/02;(IPC1-7):G02B5/04 |
主分类号 |
G02B5/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|