| 发明名称 |
Process for etching organic low-k materials |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002240212(A1) |
申请公布日期 |
2002.08.28 |
| 申请号 |
AU20020240212 |
申请日期 |
2002.01.29 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
HELEN H. ZHU;IAN J. MOREY;JAMES R. BOWERS;WAYNE BABIE;MICHAEL GOSS |
| 分类号 |
H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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