发明名称 Semiconductor memory structure, using a ferroelectric dielectric and method of formation
摘要
申请公布号 EP0740347(B1) 申请公布日期 2002.08.28
申请号 EP19950106098 申请日期 1995.04.24
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 TEMPEL, GEORG, DR. RER. NAT.
分类号 H01L21/8242;H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/823 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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