发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 在半导体装置和半导体装置的制造方法中,象素部分205的源极电线126是由低阻的材料(具有代表性的是铝,银,铜)而形成的。驱动电路的源极电线是在与象素部分的栅极电线162和象素电极163相同的形成过程中形成的。
申请公布号 CN1366340A 申请公布日期 2002.08.28
申请号 CN01145455.5 申请日期 2001.11.28
申请人 株式会社半导体能源研究所 发明人 山崎舜平;小山润
分类号 H01L27/00;H01L21/00;G02F1/136 主分类号 H01L27/00
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 梁永
主权项 1.一种半导体装置,它包括:一第一n沟道型TFT,设置在象素中;一第二n沟道型TFT,设置在驱动电路中;一第三n沟道型TFT,设置在上述驱动电路中,其特征在于每个上述第一n沟道型TFT,上述第二n沟道型TFT,和上述第三n沟道型TFT的栅电极具有由一第一导电层和一第二导电层组成的层状结构,作为下层的第一导电层具有第一宽度,作为上层的第二导电层具有一比第一宽度小的第二宽度。
地址 日本神奈川县