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发明名称
CAM-BASED ARRANGEMENT FOR POSITIONING CONFINEMENT RINGS IN A PLASMA PROCESSING CHAMBER
摘要
申请公布号
EP1090408(B1)
申请公布日期
2002.08.28
申请号
EP19990930477
申请日期
1999.06.22
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
LENZ, ERIC, H.
分类号
H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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