| 发明名称 |
POLISHING SUSPENSION FOR CHEMICAL-MECHANICAL POLISH OF SILICIUM-DIOXIDE FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HU0105380(A2) |
申请公布日期 |
2002.08.28 |
| 申请号 |
HU20010005380 |
申请日期 |
2001.12.19 |
| 申请人 |
BAYER AG. |
发明人 |
DR. CHEN LI-MEI;LU HSIN-HSEN;MIN CHUN-KUO;DR. PUPPE LOTHAR;DR. VOGT KRISTINA |
| 分类号 |
B24B37/00;B24B1/00;C09G1/02;C09G1/04;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L27/02 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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