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发明名称
摘要
申请公布号
JP3318409(B2)
申请公布日期
2002.08.26
申请号
JP19930277991
申请日期
1993.11.08
申请人
发明人
分类号
H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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