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发明名称
摘要
申请公布号
JP3318337(B2)
申请公布日期
2002.08.26
申请号
JP19910290593
申请日期
1991.10.09
申请人
发明人
分类号
C23C10/28;C23C10/08;C23C16/20;(IPC1-7):C23C16/20
主分类号
C23C10/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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