发明名称
摘要
申请公布号 JP3318813(B2) 申请公布日期 2002.08.26
申请号 JP19950047775 申请日期 1995.02.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址