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发明名称
摘要
申请公布号
JP3319385(B2)
申请公布日期
2002.08.26
申请号
JP19980109797
申请日期
1998.04.20
申请人
发明人
分类号
C23C22/24;C22C38/00;(IPC1-7):C23C22/24
主分类号
C23C22/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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